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    - 硅 盤

    產品描述

    采用直拉法拉制的大尺寸高純度單晶系列產品,主要用于晶圓加工時刻蝕工藝中使用的極關鍵材料。提供滿足客戶要求的不同尺寸、電阻率的硅棒形態單晶產品。

    產品用途

    晶圓刻蝕用上電極用加工原材料。

     

     

     

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    產品描述

    采用直拉法拉制的大尺寸高純度單晶系列產品,主要用于晶圓加工時刻蝕工藝中使用的極關鍵材料。提供滿足客戶要求的不同尺寸、電阻率的硅棒形態單晶產品。

    產品用途

    晶圓刻蝕用上電極用加工原材料。

    技術參數

    直徑mm

    型號/晶向

    純度

    電阻率(Ω.cm)

    厚度

    φ200-φ475

    P/<100>/<111>

    接近11N

    ≤0.01

    客戶定制

    1-4

    60-90

    客戶定制

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