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    - 硅 片

    技術參數

    硅片種類 Wafer Category 測控片 Test/Control/Dummy Wafer

    晶  面 Orientation (100)

    類型/摻雜 P/Boron (P型/硼)

    電 阻 率 Resistivity (ohmcm) >1Ω?cm 或 客戶定制

    厚  度 Thickness 725±25μm

     

     

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    大尺寸硅片
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    參數

    技術參數

    硅片種類 Wafer Category 測控片 Test/Control/Dummy Wafer

    晶  面 Orientation (100)

    類型/摻雜 P/Boron (P型/硼)

    電 阻 率 Resistivity (ohmcm) >1Ω?cm 或 客戶定制

    厚  度 Thickness 725±25μm

    厚度偏差 TTV <5.0μm

         Warp <50μm

         Bow <50μm

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